1、機械研磨法
傳統的機（jī）械研磨（mó）方法一般在直徑為30 ～ 40cm 的鑄鐵研磨盤（pán）上塗上一層（céng）混有尺寸為 1 ～ 50 Λ m 的金剛石粉末研磨膏進（jìn）行預研，使金剛石粉末嵌入鑄鐵研磨盤微孔，然後采用50r/min典型轉速對金（jīn）剛石刀具進行研磨，其本（běn）質就是金剛石與（yǔ）金剛石的對研。
傳統的機械研磨方法由於磨盤轉速高，正壓力大，研磨時的摩擦力大，故研磨效率高。但由於這種研磨方法具有不連續的（de）衝擊作用，得到的金剛石刀具鋸齒度和（hé）變質（zhì）層厚度較大，表麵粗糙度值也較大，一（yī）般為0.05 ～ 1μm 。
據國外文獻報道，當金（jīn）剛石刀具切削刃鈍圓半徑達到納米級（jí）時，可采用金剛石（shí）刀（dāo）具和研磨盤間距為幾十納（nà）米的零載荷空轉，這種（zhǒng）情況下也可以去除刀具材料。
所以從理論上講，機械拋光（guāng）法可以使（shǐ）表麵粗糙度值達到幾個納米（mǐ）。
2、離子束濺蝕法
離子束（shù）濺蝕法（fǎ）是采用高能氬離子轟擊金剛石刀具表麵的碳原子，使刀具碳原子逐個排除的微細加工方法，適用於加工微小金剛石刀具，所得到的金剛石刀具（jù）表（biǎo）麵粗糙度值為幾個納米。
3、熱（rè）化學拋光法
熱化學拋光（guāng）法一般是（shì）在流動氫氣中的碳原子與周圍的氫氣反應生成甲烷並隨氣流排出。
熱化學拋光效率取決於碳原子（zǐ）的擴（kuò）散（sàn）速率，影響因素有溫度、正壓力（lì）、磨盤轉速等。該（gāi）方法可使金剛石刀（dāo）具表麵粗糙度值(Ra)達（dá）到幾個（gè）納（nà）米，表麵變質層（céng）較淺。
4、無損傷機械化學拋光法
此方法在NaOH溶液（yè）中加入適量的微細金（jīn）剛（gāng）石（shí）粉末和更加細的（de）矽粉，通過（guò）強靜電作用使矽粉吸附在金剛石粉末之上 ，然後把（bǎ）它們塗覆在多孔製鑄鐵研磨盤上對金剛石刀具進行研磨（mó），其實質是微細矽粉和金剛石刀具表麵碳原子發生化學反應，通（tōng）過矽微粉的微磨削作用把反應層刮掉。該方法（fǎ）的磨削效率極低 , 約每分鍾一個原子（zǐ）層。
5、氧化刻蝕法
該方法采用高純度氧氣或含氧水蒸（zhēng）氣，使金剛（gāng）石表麵碳原子在高溫作用下(純氧1100℃，含氧水蒸氣600～900℃) 發生（shēng）氧化反應形成碳氧化物，並（bìng）隨氧氣流或水蒸氣流（liú）一（yī）起排出。用此方法加工後的金剛石表麵粗糙度值(Ra) 可達幾個納米。
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